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氬離子拋光儀的產(chǎn)品參數(shù)

點(diǎn)擊次數(shù):2785 更新時(shí)間:2018-01-09
   氬離子拋光儀通過離子槍激發(fā)獲得的離子束,以垂直于樣品側(cè)面縱向轟擊樣品,可獲得高質(zhì)量無應(yīng)力“切割”截面,便于SEM觀察。
  該處理方法適用于多層膜材料、軟硬復(fù)合材料等高難度制備樣品,并且操作簡單,可有效避免涂抹效應(yīng),不需要大量摸索條件即可獲得理想的截面,使樣品暴露內(nèi)部細(xì)微結(jié)構(gòu)信息。
  這一技術(shù)幾乎是*一個(gè)適用于任何材質(zhì)樣品,獲得高質(zhì)量切割截面的解決方法。使用該技術(shù)對樣品進(jìn)行處理,樣品受到形變或損傷的可能性zui低,可暴露出樣品內(nèi)部真實(shí)的結(jié)構(gòu)信息。
  在技術(shù)上超越了傳統(tǒng)的離子束拋光切割設(shè)備。它使用三離子束,并可裝配冷凍樣品臺(tái)和三樣品臺(tái),可以高速率離子束轟擊樣品,得到寬且深的切割區(qū)域,獲得一個(gè)高質(zhì)量的平整的切割截面,幾乎適用于任何材料,整個(gè)樣品處理過程快速簡便。
  河南氬離子拋光儀技術(shù)參數(shù):
  可容納zui大樣品尺寸50×50×10mm,可獲得有效切割截面面積>4mm×1mm
  三把離子槍,離子束能量1keV-10keV,切割速率150m/h (Si@10kV, 50m切割高度)
  離子束處理過程中樣品位置固定,無需偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),無投影效應(yīng),熱傳導(dǎo)性好
  可進(jìn)行離子束切割或刻蝕,可選擇任意離子槍
  真空泵解耦合設(shè)計(jì),無震動(dòng)傳導(dǎo)
  觸摸屏操作面板,直觀、簡易操作,可編程可軟件升級
  可選配:液氮制冷冷臺(tái)-150°至 30°,25L液氮罐及自動(dòng)泵,具有自動(dòng)快速制冷功能
  可選配:三樣品臺(tái),可一次連續(xù)處理三個(gè)樣品
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